經(jīng)常有客戶在使用等離子清洗機(jī)對產(chǎn)品進(jìn)行處理時會出現(xiàn)產(chǎn)品變色的情況出現(xiàn)，尤其是在半導(dǎo)體封裝鍵合元器件上出現(xiàn)的頻率很大。今天就讓我們來分析一下是什么原因?qū)е铝说入x子清洗后產(chǎn)品變色。

　　

　　低溫等離子體中存在著大量種類繁多的活性粒子，它們比通常的化學(xué)反應(yīng)所產(chǎn)生的活性粒子活性更強、種類更多，這些活性粒子很容易和材料表面發(fā)生反應(yīng)，因此常被用來對材料表面進(jìn)行清洗或改性。

　　

　　等離子清洗機(jī)的機(jī)理主要是與材料表面發(fā)生反應(yīng)，這種反應(yīng)分為兩種：一種是粒子的化學(xué)作用，主要是自由基活性粒子；另一種是粒子的物理作用，主要是正離子和電子。

　　

　　氣體放電產(chǎn)生的等離子體中有電子、正離子、亞穩(wěn)態(tài)的分子和原子等，當(dāng)被清洗間浸沒到等離子中時，等離子體中的化學(xué)活性粒子就與材料表面的污染物發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，如果是氫離子，反應(yīng)為還原反應(yīng)。如果是氧離子，則發(fā)生氧化反應(yīng)。

　　

　　等離子清洗機(jī)清洗產(chǎn)品變色原因及解決辦法如下：

　　

　　被清洗件表面變色的主要原因有兩點，一是因射頻頻率、功率選擇不當(dāng)，導(dǎo)致零件整體溫度過高，造成材料變性或整體氧化；二是因零件形狀復(fù)雜，等離子體在零件局部形成了熱點，導(dǎo)致局部溫度過高，造成局部變性或氧化。

　　

　　總的來說變色是由于產(chǎn)品表面被氧化導(dǎo)致，解決辦法如下：如果產(chǎn)品易被氧化，一般可以充入氬氣和氫氣的混合氣體，把氫氣比例控制在一定范圍內(nèi)，兼顧安全性和效率的平衡，易被氧化的產(chǎn)品，應(yīng)該避免清洗腔室有氧氣的存在，可以通入氫氣將氧氣還原掉。

　　

　　此外功率過大溫度過高導(dǎo)致的產(chǎn)品變色，可以適當(dāng)調(diào)整降低功率，將其控制在一個合適的范圍內(nèi)。

　　

　　以上就是等離子清洗機(jī)清洗產(chǎn)品變色的原因及其解決辦法，以上內(nèi)容僅供大家參考，具體解決方案，可以自己根據(jù)以上分析自行調(diào)整工藝參數(shù)。